Promotion - ML-gestützter Entwurf von hochzuverlässigen, kognitiven Sensornetzen in der Halbleiterfertigung
Ziel der Promotion ist die Schaffung eines zuverlässigen und kognitiven Sensornetzwerkes (mit unterschiedlichen Sensorarten, -positionen und –typen), welches im Rahmen der Sensorfusion Störgrößen erkennt (z.B. Signaldrift). Daher sollte es möglich s…